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讀懂流量計關鍵參數

發布時間:2022-04-21瀏覽:300次

問:1.質量流量控制器,為什么以SCCM和SLM為單位?

答:從測量原理講,熱式質量流量計是通過利用氣體的比熱與密度,采用毛細管溫差量熱法進行測量,流量控制器測量的就是質量流量,但顯示出的數值是通用的標況(101325 Pa; 0℃)體積流量。由于一般氣體的密度都指標況下的密度,因此直接用體積乘以密度就可以得到所通過氣體的質量。SCCM 與 SLM 為體積流量的行業標準單位,代表標況下的體積流量。SLM(Standard Liter per Minute)是表示每分鐘標準升。SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute)是表示每分鐘標準毫升。

問:2.流量控制器對使用條件和環境有什么要求?

答:通常情況是環境溫度,流量規格,壓力根據產品的型號不同也有差異。

問:3.內漏與外漏區別是什么?

答:內漏是指氣體整個氣路內部泄漏,主要是電磁調節閥關不死造成的;外漏是管路中氣體漏到氣路外部,主要是接頭密封不嚴造成的。

問:4.設定點精度與滿量程精度的區別是什么?

答:設定點精度是相對于設定點本點的精度,滿量程精度是相對于滿量程流量的精度。舉例:量程為 100SCCM 的流量控制器,當設定 50SCCM 時,其設定點精度為±0.5SCCM,即 50×(±1%)=±0.5SCCM;滿量程精度為 ±1SCCM,即100SCCM×(±1%)=±1SCCM。

問:5.什么是產品響應時間?

答:當流量設定點發生變化時,流量控制器的流量穩定達到流量設定點的一定范圍內的最短時間。響應時間又分為氣特性響應時間和電特性響應時間,氣特性響應時間是指實際流量達到設定值所需的時間,電特性響應時間是指流量控制器的輸出信號達到設定值所需時間,一般來說氣特性響應要快于電特性響應。




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