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1000度探針臺的相關知識點介紹

發布時間:2022-05-10瀏覽:62次

  1000度探針臺的夾具及電纜組件。探針夾具用于夾持探針、并將探針連接至測量儀器。電纜組件用于轉接、延展探針夾具上的電纜組件。根據測量應用,可粗略地劃分為以下幾種:I-V/CV測試用、RF測試用、高壓大電流I-V/C-V測試用等。待測點需要測試探針的連接,才能與測試儀器發生交流。常見的有:普通DC測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針。
 
  1000度探針屬于整個測試系統的基礎,沒有探針臺,就相當于醫生沒有了手術臺,在普通的病床上給病人做手術將增加手術風險。探針臺可按實現目標功能不同劃分成三部分:顯微鏡、承載平臺和精密移動組件。
 
 ?。?)顯微鏡。沒有該配置,所有精密操作將無從談起。目前行業內常見的配置有三種:體視顯微鏡、金相顯微鏡、單筒顯微鏡,前兩種用得多。
 ?。?)承載平臺。該部分是構成探針臺骨架,可分為顯微鏡支架、定位器平臺和樣品臺(載物臺)。不同的顯微鏡,顯微鏡的支架會有所不同,通常有立柱安裝和龍門安裝兩種配置。定位器平臺用于放置定位器(探針座)、形狀和尺寸根據測試應用不同會有不同的設計形式。樣品臺(載物臺)用于承載待測樣品,通常根據晶圓尺寸設計,常用的尺寸從2~12英寸。除了承載樣品的功能,樣品臺還可根據測量需求,設計為帶測量通路和帶精密控溫的形式。
 ?。?)精密移動組件。以上承載平臺都配套了相應的移動定位功能,方便用戶對顯微鏡、待測樣品及定位器進行精密的移動。通常有X-Y-Z-R-T這些方向移動功能。

 

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