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高溫蒸鍍儀

簡要描述:高溫蒸鍍儀,KT-Z1650CVD,石英+不銹鋼腔體,觸摸屏控制,工藝儲存功能,自動電控擋板保護樣品

  • 產品型號:KT-Z1650CVD
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2022-07-04
  • 訪  問  量:36
詳細介紹
品牌鄭科探產地類別國產
應用領域綜合

高溫蒸鍍儀,KT-Z1650CVD,石英+不銹鋼腔體,觸摸屏控制,工藝儲存功能,自動電控擋板保護樣品

在厚度為2nm (20埃)或更厚時膜是連續的。通常的沉積形式是加熱碳或石墨棒。棒具有特定的形狀以達到最大電流密度,使得它具有足夠的溫度來引起蒸發?;谶@點,出現了細小的、亮的、熱的碳顆粒。此系統需要用擴散泵或渦輪分子泵達到1x10-4 mbar或更高的真空度。
渦輪分子泵在K950X中作為標準配置,此泵作為機械真空泵的后級泵,真空為全自動控制,真空度優于1x10-5 mbar??蛇M行預熱及除氣控制,同時用瞬時蒸發開關使脈沖蒸發在用戶控制下進行。
標準的旋轉樣品臺可進行傾斜調節,非常容易適應各種樣品座。

以下是不同真空度 不同鍍膜時間鍍銅樣品圖

637858771737832260197.png   原樣品沒有鍍膜                       637858771732996198687.png  115A 100秒 機械泵

637858771732840196319.png115A 100秒 分子泵抽12分鐘    637858771732684194803.png  115A 120秒 分子泵抽20分鐘


真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色


高溫蒸鍍儀KT-Z1650CVD

控制方式

7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

加熱方式

數字式功率調整器

鍍膜功能

0-9995段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

最大功率

1200W

最大輸出電壓電流

電壓≤12V  電流≤120A

真空度

機械泵 ≤5Pa5分鐘)   分子泵≤10^-3Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm

樣品臺

可旋轉φ62  (最大可安裝φ50基底)

樣品臺轉速

8/分鐘

樣品蒸發源調節距離

70-140mm

蒸發溫度調節

1800

支持蒸發坩堝類型

鎢絲藍  帶坩堝鎢絲藍  鎢舟  碳繩  

預留真空接口

KF25抽氣口  KF16真空計接口  KF16放氣口 6mm卡套進氣口

可選配擴展

機械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa  

數顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa

分子泵機組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa



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